¾ç¼ºÀÚ°úÇבּ¸´Ü, °æÁÖ°ø¾÷°íµîÇб³¿¡ ¸ÂÃãÇü ¹ÝµµÃ¼ ±³À° Á¦°ø - ¹ÝµµÃ¼ ¹× ÷´Ü±â¼úºÐ¾ß °æÁÖÁö¿ª Àü¹®Àη ¾ç¼º ±âƲ ¸¶·Ã µ¿ºÎÃëÀ纻ºÎ / ±è°Ç¿ì º»ºÎÀå oprus21@naver.com |
2023³â 08¿ù 10ÀÏ(¸ñ) 16:34 |
|
Çѱ¹¿øÀڷ¿¬±¸¿ø(¿øÀå ÁÖÇѱÔ) ¾ç¼ºÀÚ°úÇבּ¸´Ü(´ÜÀå ÀÌÀç»ó)Àº °æºÏµµ°¡ ÃßÁøÇÏ´Â ¡®°æºÏ ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°ÝÂ÷ Àü¹®Àη ¾ç¼º»ç¾÷¡¯ÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ´ë±¸°¡Å縯´ëÇб³ ¹× °æºÏ°æ»ê»êÇÐÀ¶ÇÕ¿ø°ú °øµ¿À¸·Î °æÁÖ°ø¾÷°íµîÇб³(ÀÌÇÏ °æÁÖ°ø°í) ¸ÂÃãÇü ¹ÝµµÃ¼ ±³À°À» Á¦°øÇÏ¿´´Ù.
(°æºÏ ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°ÝÂ÷ Àü¹®Àη ¾ç¼º»ç¾÷ : ±¹°¡Ã·´ÜÀü·«»ê¾÷ ƯȴÜÁö ÁöÁ¤½Ã, ÀηÂÈ®º¸¿Í Áö¿ª ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÇöÀå Àη¼ö¿äÀÇ °ø±ÞºÎÁ· Çö»óÀ» ÇØ°áÇرâ À§ÇÑ Àü¹®Àη ¾ç¼º»ç¾÷)
°æÁÖ°ø°í Çлý 40¿© ¸íÀÌ Âü¼®ÇÏ¿© 2ÀÏ µ¿¾È ÁøÇàµÈ ¡®°æÁÖ°ø°í ¸ÂÃãÇü ¹ÝµµÃ¼ ±³À°°úÁ¤¡¯Àº Ư¼ºÈ°í¿¡¼ ¡°¹ÝµµÃ¼ ¸¶À̽ºÅÍ°í(°¡Äª)¡± Àüȯ ÃßÁøÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ÁøÇàµÇ¾úÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ ±âº»ÀÌ·Ð ¹× °øÁ¤ °úÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ¸¹Àº °ü½ÉÀ» º¸¿´´Ù.
Àιø ±³À°Àº ¾ç¼ºÀÚ°úÇבּ¸´Ü ¿¬±¸¿ø, ´ë±¸°¡Å縯´ëÇб³ ¿¬±¸¿ø/±³¼ö µî ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß Àü¹®°¡µé·Î °»çÁøÀ» ±¸¼ºµÇ¾úÀ¸¸ç, ÁÖ¿ä ±³À°³»¿ëÀº ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±âÃʱ³À°, ¹ÝµµÃ¼ °³³ä Á¤¸³, ¹Ú¸·ÁõÂø ½Ç½À, PLC(Programmable Logic Controller) È°¿ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÚµ¿È Á¦ÀÛ°øÁ¤ ¼ö¸³ ¹× ÀÌ¿ÂÁÖÀÔÀåÄ¡ ±âº»ÀÌ·Ð ¹× ÀÀ¿ë½Ç¹«¸¦ °ÀÇÇÏ¿´´Ù.
(ÀÌ¿ÂÁÖÀÔÀåÄ¡ (Ion Implanter): ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤Áß Çϳª·Î½á, ÀÌ¿ÂÈµÈ ÀÔÀÚ¸¦ ¼ö½Ê ~ ¼ö¹é keV·Î °¡¼ÓÇÏ¿©, ¹ÝµµÃ¼¿¡ ºÒ¼ø¹°À» ÁÖÀÔÇÏ´Â ¿þÀÌÆÛ Æ¯¼º Á¦¾î ÀåÄ¡)
ÀÌÀç»ó ´ÜÀåÀº ¡°À̹ø ¹ÝµµÃ¼ ±³À°°úÁ¤À» ÅëÇØ °æÁÖ°ø°í ÇлýµéÀÌ Áö¿ª ³» ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É Àü¹®°¡·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö Àֱ⸦ ÀÀ¿øÇÑ´Ù. ¿¬±¸´ÜÀº ÃßÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ±³À°À» ÅëÇØ °æÁÖ´Â ¹°·Ð °æºÏÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹® ÀηÂÀ» ¾ç¼ºÇϱâ À§ÇØ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù.¡± °í ÀüÇß´Ù.
(°æºÏ ¹ÝµµÃ¼ ÃÊ°ÝÂ÷ Àü¹®Àη ¾ç¼º»ç¾÷ : ±¹°¡Ã·´ÜÀü·«»ê¾÷ ƯȴÜÁö ÁöÁ¤½Ã, ÀηÂÈ®º¸¿Í Áö¿ª ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÇöÀå Àη¼ö¿äÀÇ °ø±ÞºÎÁ· Çö»óÀ» ÇØ°áÇرâ À§ÇÑ Àü¹®Àη ¾ç¼º»ç¾÷)
°æÁÖ°ø°í Çлý 40¿© ¸íÀÌ Âü¼®ÇÏ¿© 2ÀÏ µ¿¾È ÁøÇàµÈ ¡®°æÁÖ°ø°í ¸ÂÃãÇü ¹ÝµµÃ¼ ±³À°°úÁ¤¡¯Àº Ư¼ºÈ°í¿¡¼ ¡°¹ÝµµÃ¼ ¸¶À̽ºÅÍ°í(°¡Äª)¡± Àüȯ ÃßÁøÀÇ ÀÏȯÀ¸·Î ÁøÇàµÇ¾úÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ ±âº»ÀÌ·Ð ¹× °øÁ¤ °úÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ¸¹Àº °ü½ÉÀ» º¸¿´´Ù.
Àιø ±³À°Àº ¾ç¼ºÀÚ°úÇבּ¸´Ü ¿¬±¸¿ø, ´ë±¸°¡Å縯´ëÇб³ ¿¬±¸¿ø/±³¼ö µî ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß Àü¹®°¡µé·Î °»çÁøÀ» ±¸¼ºµÇ¾úÀ¸¸ç, ÁÖ¿ä ±³À°³»¿ëÀº ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ±âÃʱ³À°, ¹ÝµµÃ¼ °³³ä Á¤¸³, ¹Ú¸·ÁõÂø ½Ç½À, PLC(Programmable Logic Controller) È°¿ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÚµ¿È Á¦ÀÛ°øÁ¤ ¼ö¸³ ¹× ÀÌ¿ÂÁÖÀÔÀåÄ¡ ±âº»ÀÌ·Ð ¹× ÀÀ¿ë½Ç¹«¸¦ °ÀÇÇÏ¿´´Ù.
(ÀÌ¿ÂÁÖÀÔÀåÄ¡ (Ion Implanter): ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤Áß Çϳª·Î½á, ÀÌ¿ÂÈµÈ ÀÔÀÚ¸¦ ¼ö½Ê ~ ¼ö¹é keV·Î °¡¼ÓÇÏ¿©, ¹ÝµµÃ¼¿¡ ºÒ¼ø¹°À» ÁÖÀÔÇÏ´Â ¿þÀÌÆÛ Æ¯¼º Á¦¾î ÀåÄ¡)
ÀÌÀç»ó ´ÜÀåÀº ¡°À̹ø ¹ÝµµÃ¼ ±³À°°úÁ¤À» ÅëÇØ °æÁÖ°ø°í ÇлýµéÀÌ Áö¿ª ³» ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É Àü¹®°¡·Î ¼ºÀåÇÒ ¼ö Àֱ⸦ ÀÀ¿øÇÑ´Ù. ¿¬±¸´ÜÀº ÃßÈÄ Áö¼ÓÀûÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ±³À°À» ÅëÇØ °æÁÖ´Â ¹°·Ð °æºÏÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹® ÀηÂÀ» ¾ç¼ºÇϱâ À§ÇØ ÃÖ¼±À» ´ÙÇÏ°Ú´Ù.¡± °í ÀüÇß´Ù.
µ¿ºÎÃëÀ纻ºÎ / ±è°Ç¿ì º»ºÎÀå oprus21@naver.com