Æ÷Ç×°¼ÒƯ±¸À°¼º¼¾ÅÍ, °¼ÒƯ±¸ ¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß °øµ¿ ÅõÀÚ»ó´ãȸ °³ÃÖ - ¿¡³ÊÁö Çõ½Å ½ºÅ¸Æ®¾÷-ÅõÀÚÀÚ, ³×Æ®¿öÅ· ÃËÁøÇÏ´Â ¸¸³²ÀÇ Àå ¸¶·Ã µ¿ºÎÃëÀ纻ºÎ / ±è°Ç¿ì º»ºÎÀå oprus21@naver.com |
2024³â 10¿ù 14ÀÏ(¿ù) 17:42 |
|
Æ÷Ç×°¼ÒƯ±¸À°¼º¼¾ÅÍ(¼¾ÅÍÀå ÀÌÁ¤¼ö)´Â Áö³ 11ÀÏ Çõ½ÅÀûÀÎ ¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú º¥Ã³Ä³ÇÇÅ»(VC) µî 50¿© ¸íÀÌ Âü¿©ÇÑ °¡¿îµ¥, ¼¿ï ÄÚ¿¢½º¿¡¼ ¡®2024³â ¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ °øµ¿ ÅõÀÚ»ó´ãȸ¡¯¸¦ ¼º°øÀûÀ¸·Î °³ÃÖÇß´Ù.
°úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ, ¿¬±¸°³¹ßƯ±¸ÁøÈïÀç´ÜÀÌ ÁÖÃÖÇÏ°í ¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ ÇùÀÇü°¡ ÁÖ°üÇÑ À̹ø Çà»ç´Â ¿¡³ÊÁö »ê¾÷ÀÇ Çõ½Å ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú º¥Ã³Ä³ÇÇÅ»(VC)µéÀÌ Á÷Á¢ ¸¸³¯ ¼ö ÀÖ´Â ÀÚ¸®¸¦ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á, ÅõÀÚ À¯Ä¡¿Í ³×Æ®¿öÅ·À» ÃËÁøÇÏ´Â ¸¸³²ÀÇ ÀåÀÌ µÆ´Ù.
ƯÈ÷ ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú º¥Ã³Ä³ÇÇÅ»(VC) °£ 1:1 ¸ÅĪ »ó´ã °È·Î ½ÇÁúÀûÀÎ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ À̲ø¾î³»±â À§ÇÑ ³×Æ®¿öÅ·¿¡ ÁýÁßÇØ ÅõÀÚÀÚµéÀº °¢ ±â¾÷ÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ±íÀÌ ÀÌÇØÇÏ°í, ½ºÅ¸Æ®¾÷µéÀº ÅõÀÚ À¯Ä¡¿Í ³×Æ®¿öÅ·ÀÇ ±âȸ¸¦ È®´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °è±â°¡ µÇ¸ç È£ÀÀÀ» ¾ò¾ú´Ù.
Àüü Âü¿© ±â¾÷ 10°³ »ç Áß Æ÷Ç× ±â¾÷Àº Á¦Ã¶¼Ò ºÎ»ê¹°À» È°¿ëÇÑ ÈñÀ¯±Ý¼Ó ÃßÃâ ¹× ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Á¦Ç°À» °³¹ßÇϴ ģȯ°æ ±â¾÷ ¢ßÆ÷·½ÄÚ¿Í ±ØÀڿܼ±(EUV) ±¤¿ø ¹× ÃøÁ¤¡¤Æò°¡ Àåºñ °³¹ß ±¹»êȸ¦ ÃßÁøÇÏ´Â Æ÷Ç× Á¦35È£ ¿¬±¸¼Ò±â¾÷ ¢ßÇϹٷ¦À¸·Î À̳¯ ÅõÀÚ»ó´ãȸ¿¡¼ °¢ ±â¾÷ÀÇ ¿ì¼öÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» ¼Ò°³Çß´Ù.
¶ÇÇÑ Âü¿© ±â¾÷ 350°³ »ç, 500°³ ºÎ½º, Âü°ü°´ ¾à 3¸¸ ¸í ±Ô¸ðÀÇ °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ ÁÖÃÖ ¡®µðÁöÅÐ Çõ½Å Æ佺Ÿ 2024¡¯ Çà»ç¿Í ¿¬°èÇØ Æ¯±¸ È«º¸, Ÿ ±â¾÷ Æ÷Ç× À¯Ä¡ ¹× Ư±¸ ³» À¯¸Á¾÷ü Àü½Ã¸¦ ÅëÇÑ ±â¼ú¡¤Á¦Ç° È«º¸ÀÇ Àåµµ µ¿½Ã¿¡ ¸¶·ÃÇß´Ù.
ÀÌ°´ö Æ÷Ç×½ÃÀåÀº ¡°À̹ø Çà»ç°¡ ¿¡³ÊÁö »ê¾÷À» À̲ô´Â Çõ½Å ±â¾÷µéÀÌ ´õ ¸¹Àº ÅõÀÚ À¯Ä¡ ±âȸ¸¦ ¾ò°í, ³ª¾Æ°¡ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â Áß¿äÇÑ °è±â°¡ µÇ±æ ¹Ù¶õ´Ù¡±¸ç, ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ Áö¿ª ³» ¿ì¼ö±â¾÷ÀÇ ÅõÀÚ À¯Ä¡ È°µ¿ ¹× ±Û·Î¹ú ÁøÃâ Çù·Â¿¡ Àû±Ø Áö¿øÇØ ³ª°¡°Ú´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù.
ÇÑÆí ¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ ÇùÀÇü´Â 2022³â 11¿ù ¿¡³ÊÁö Æ¯ÈºÐ¾ß °øµ¿Áö¿ø ¿¬°è Çù·Â ³×Æ®¿öÅ© ±¸ÃàÀ» À§ÇØ Æ÷Ç×(Æ÷Ç×°ø°ú´ë), ±¸¹Ì(±Ý¿À°ø´ë), ³ªÁÖ(Çѱ¹Àü·Â°ø»ç), ¿ïÁÖ(¿ï»ê°úÇбâ¼ú¿ø), â¿ø(Çѱ¹Àü±â¿¬±¸¿ø) µî 5°³ °¼ÒƯ±¸°¡ Çù·ÂÇØ °¢Á¾ ¿¬°è»ç¾÷À» ÃßÁøÇØ ¿Ô´Ù.
ƯÈ÷ Áö³ÇØ 10¿ù ¡®¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ ÅõÀÚ ¼³¸íȸ¡¯¸¦ °³ÃÖÇÏ°í ´ë±â¾÷ ¹× ±ÝÀ¶±â°ü, ÅõÀÚ °ü°èÀÚ¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ÇÑ 1:1 ÅõÀÚ »ó´ã 30°Ç, ÈÄ¼Ó ¹ÌÆà 4°Ç, ÅõÀÚ À¯Ä¡ 3°Ç µîÀÇ ¼º°ú¸¦ °ÅµÐ ¹Ù ÀÖ´Ù.
°úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ, ¿¬±¸°³¹ßƯ±¸ÁøÈïÀç´ÜÀÌ ÁÖÃÖÇÏ°í ¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ ÇùÀÇü°¡ ÁÖ°üÇÑ À̹ø Çà»ç´Â ¿¡³ÊÁö »ê¾÷ÀÇ Çõ½Å ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú º¥Ã³Ä³ÇÇÅ»(VC)µéÀÌ Á÷Á¢ ¸¸³¯ ¼ö ÀÖ´Â ÀÚ¸®¸¦ Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á, ÅõÀÚ À¯Ä¡¿Í ³×Æ®¿öÅ·À» ÃËÁøÇÏ´Â ¸¸³²ÀÇ ÀåÀÌ µÆ´Ù.
ƯÈ÷ ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú º¥Ã³Ä³ÇÇÅ»(VC) °£ 1:1 ¸ÅĪ »ó´ã °È·Î ½ÇÁúÀûÀÎ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ À̲ø¾î³»±â À§ÇÑ ³×Æ®¿öÅ·¿¡ ÁýÁßÇØ ÅõÀÚÀÚµéÀº °¢ ±â¾÷ÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ±íÀÌ ÀÌÇØÇÏ°í, ½ºÅ¸Æ®¾÷µéÀº ÅõÀÚ À¯Ä¡¿Í ³×Æ®¿öÅ·ÀÇ ±âȸ¸¦ È®´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °è±â°¡ µÇ¸ç È£ÀÀÀ» ¾ò¾ú´Ù.
Àüü Âü¿© ±â¾÷ 10°³ »ç Áß Æ÷Ç× ±â¾÷Àº Á¦Ã¶¼Ò ºÎ»ê¹°À» È°¿ëÇÑ ÈñÀ¯±Ý¼Ó ÃßÃâ ¹× ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ Á¦Ç°À» °³¹ßÇϴ ģȯ°æ ±â¾÷ ¢ßÆ÷·½ÄÚ¿Í ±ØÀڿܼ±(EUV) ±¤¿ø ¹× ÃøÁ¤¡¤Æò°¡ Àåºñ °³¹ß ±¹»êȸ¦ ÃßÁøÇÏ´Â Æ÷Ç× Á¦35È£ ¿¬±¸¼Ò±â¾÷ ¢ßÇϹٷ¦À¸·Î À̳¯ ÅõÀÚ»ó´ãȸ¿¡¼ °¢ ±â¾÷ÀÇ ¿ì¼öÇÑ ±â¼ú·ÂÀ» ¼Ò°³Çß´Ù.
¶ÇÇÑ Âü¿© ±â¾÷ 350°³ »ç, 500°³ ºÎ½º, Âü°ü°´ ¾à 3¸¸ ¸í ±Ô¸ðÀÇ °úÇбâ¼úÁ¤º¸Åë½ÅºÎ ÁÖÃÖ ¡®µðÁöÅÐ Çõ½Å Æ佺Ÿ 2024¡¯ Çà»ç¿Í ¿¬°èÇØ Æ¯±¸ È«º¸, Ÿ ±â¾÷ Æ÷Ç× À¯Ä¡ ¹× Ư±¸ ³» À¯¸Á¾÷ü Àü½Ã¸¦ ÅëÇÑ ±â¼ú¡¤Á¦Ç° È«º¸ÀÇ Àåµµ µ¿½Ã¿¡ ¸¶·ÃÇß´Ù.
ÀÌ°´ö Æ÷Ç×½ÃÀåÀº ¡°À̹ø Çà»ç°¡ ¿¡³ÊÁö »ê¾÷À» À̲ô´Â Çõ½Å ±â¾÷µéÀÌ ´õ ¸¹Àº ÅõÀÚ À¯Ä¡ ±âȸ¸¦ ¾ò°í, ³ª¾Æ°¡ ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀÌ´Â Áß¿äÇÑ °è±â°¡ µÇ±æ ¹Ù¶õ´Ù¡±¸ç, ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ Áö¿ª ³» ¿ì¼ö±â¾÷ÀÇ ÅõÀÚ À¯Ä¡ È°µ¿ ¹× ±Û·Î¹ú ÁøÃâ Çù·Â¿¡ Àû±Ø Áö¿øÇØ ³ª°¡°Ú´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù.
ÇÑÆí ¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ ÇùÀÇü´Â 2022³â 11¿ù ¿¡³ÊÁö Æ¯ÈºÐ¾ß °øµ¿Áö¿ø ¿¬°è Çù·Â ³×Æ®¿öÅ© ±¸ÃàÀ» À§ÇØ Æ÷Ç×(Æ÷Ç×°ø°ú´ë), ±¸¹Ì(±Ý¿À°ø´ë), ³ªÁÖ(Çѱ¹Àü·Â°ø»ç), ¿ïÁÖ(¿ï»ê°úÇбâ¼ú¿ø), â¿ø(Çѱ¹Àü±â¿¬±¸¿ø) µî 5°³ °¼ÒƯ±¸°¡ Çù·ÂÇØ °¢Á¾ ¿¬°è»ç¾÷À» ÃßÁøÇØ ¿Ô´Ù.
ƯÈ÷ Áö³ÇØ 10¿ù ¡®¿¡³ÊÁö °¼ÒƯ±¸ ÅõÀÚ ¼³¸íȸ¡¯¸¦ °³ÃÖÇÏ°í ´ë±â¾÷ ¹× ±ÝÀ¶±â°ü, ÅõÀÚ °ü°èÀÚ¸¦ ´ë»óÀ¸·Î ÇÑ 1:1 ÅõÀÚ »ó´ã 30°Ç, ÈÄ¼Ó ¹ÌÆà 4°Ç, ÅõÀÚ À¯Ä¡ 3°Ç µîÀÇ ¼º°ú¸¦ °ÅµÐ ¹Ù ÀÖ´Ù.
µ¿ºÎÃëÀ纻ºÎ / ±è°Ç¿ì º»ºÎÀå oprus21@naver.com